金融界 2024 年 8 月 30 日訊息，天眼查智慧財產權資訊顯示，國儀量子技術（合肥）股份有限公司取得一項名為「電子探測裝置和掃描電鏡「，授權公告號 CN118098914B，申請日期為 2024 年 4 月。
專利摘要顯示，本發明公開了一種電子探測裝置和掃描電鏡，電子探測裝置包括：反射式能量分析器，包括沿電子束入射方向依次設定的第一控制電極和第二控制電極，第一控制電極用於與第二控制電極之間產生第一電場；第一探測器，設定在第二控制電極遠離第一控制電極的一側；第二探測器，設定在第一控制電極遠離第二控制電極的一側；導電遮蔽管，沿電子束入射方向貫穿第一控制電極和第二控制電極設定，用於遮蔽反射式能量分析器產生的電場，以允許電子束穿過並入射至目標樣品；第一電場用於將二次電子引導至第一探測器。該電子探測裝置可提高背散射電子和二次電子的分離度和收集效率。
