金融界 2024 年 8 月 30 日消息，天眼查知识产权信息显示，国仪量子技术（合肥）股份有限公司取得一项名为「电子探测装置和扫描电镜「，授权公告号 CN118098914B，申请日期为 2024 年 4 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种电子探测装置和扫描电镜，电子探测装置包括：反射式能量分析器，包括沿电子束入射方向依次设置的第一控制电极和第二控制电极，第一控制电极用于与第二控制电极之间产生第一电场；第一探测器，设置在第二控制电极远离第一控制电极的一侧；第二探测器，设置在第一控制电极远离第二控制电极的一侧；导电屏蔽管，沿电子束入射方向贯穿第一控制电极和第二控制电极设置，用于屏蔽反射式能量分析器产生的电场，以允许电子束穿过并入射至目标样品；第一电场用于将二次电子引导至第一探测器。该电子探测装置可提高背散射电子和二次电子的分离度和收集效率。
