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成都工具研究所申请一种alpha相三氧化二铝铬涂层的制备方法专利,实现通过磁控溅射技术在低温条件下制备出alpha相三氧化二铝铬涂层的技术突破

2024-08-28科学

金融界2024年8月28日消息,天眼查知识产权信息显示,成都工具研究所有限公司申请一项名为「一种alpha相三氧化二铝铬涂层的制备方法「,公开号CN202410531232.3,申请日期为2024年4月。

专利摘要显示,本发明涉及晶态陶瓷涂层技术领域,公开了一种alpha相三氧化二铝铬涂层的制备方法,将预处理后的基体置于镀膜腔室,在真空环境下将基体加热并保持至第一预设温度;利用中频电源,通入第一流量的氩气对基体进行刻蚀后通入第二流量的氩气,采用直流电源对AlCr6040靶进行溅射清洗;三氧化二铝铬涂层沉积过程,控制氧气流量在预设范围内;阴极电源采用高功率脉冲磁控溅射AlCr6040靶,且以独立于阴极电源设置的同步高功率脉冲磁控溅射电源为基体提供偏压;本发明基于磁控溅射技术巧妙设置了分段式能量提供过程,加上特殊选择的靶材,克服了高温才能提供大量能量的技术偏见,实现了通过磁控溅射技术在低温条件下制备出alpha相三氧化二铝铬涂层的技术突破。