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什么是共聚焦?

2021-06-19影视

共聚焦显微镜成像原理

共焦显微镜装置是在被测对象焦平面的共轭面上放置两个小孔,其中一个放在光源前面,另一个放在探测器前面,如图所示。

共焦显微镜光路示意图

共聚焦显微得到的图像是来自一个焦平面的光通过针孔数码相机聚焦拍摄,通过所累积的不同焦平面的图像序列,使用软件编译完整的 3d 图像。所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。传统光学显微镜上常配备灵敏度较低的CCD相机来采集图像,对于低照度的光,如荧光无法探测到,而共聚焦显微镜系统使用的探测元件是高灵敏度的光电倍增管,对微弱的荧光信号可以呈现出很高的灵敏度,并且还可以通过缩小激发范围并使用光学切片来消除背景噪声。

在相同物镜放大的条件下,共焦显微镜所展示的 图像形态细节更清晰更微细 ,横向分辨率更高。如同为微纳检测的利器,共聚焦显微镜却是与 白光干涉仪 有着诸多不同,如果用一个字眼来形容,那么白光干涉仪是「文」,而共聚焦显微镜是「武」。白光擅长亚纳米级超光滑表面的检测,追求检测数值的精准;而 共聚焦擅长微纳级粗糙轮廓的检测 ,虽在检测分辨率上略逊一筹,但能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。

VT6000系列共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等,能测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数, 对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

自设计之初,便定下了「简单好用」四字方针的目标。

1)结构简单:仪器整体由一台轻量化的设备主机和电脑构成,控制单元集成在设备主机之内,亦可采用笔记本电脑驱动,真正实现了「拎着走」的便携式设计;

2)真彩图像:配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像,对细节的展现纤毫毕现;

3)操作便捷:采用全电动化设计,并可无缝衔接位移轴与扫描轴的切换,图像视窗和分析视窗同界面的设计风格,实现了所见即所得的快速检测效果;

4)安全无忧:采用自研的电动鼻轮塔台,并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功能进行了优化,确保共聚焦显微镜在使用高倍物镜仅不到1mm的工作距离时也能轻松应对。