當前位置: 華文問答 > 科學

成都工具研究所申請一種alpha相三氧化二鋁鉻塗層的制備方法專利,實作透過磁控濺射技術在低溫條件下制備出alpha相三氧化二鋁鉻塗層的技術突破

2024-08-28科學

金融界2024年8月28日訊息,天眼查知識產權資訊顯示,成都工具研究所有限公司申請一項名為「一種alpha相三氧化二鋁鉻塗層的制備方法「,公開號CN202410531232.3,申請日期為2024年4月。

專利摘要顯示,本發明涉及晶態陶瓷塗層技術領域,公開了一種alpha相三氧化二鋁鉻塗層的制備方法,將預處理後的基體置於鍍膜腔室,在真空環境下將基體加熱並保持至第一預設溫度;利用中頻電源,通入第一流量的氬氣對基體進行刻蝕後通入第二流量的氬氣,采用直流電源對AlCr6040靶進行濺射清洗;三氧化二鋁鉻塗層沈積過程,控制氧氣流量在預設範圍內;陰極電源采用高功率脈沖磁控濺射AlCr6040靶,且以獨立於陰極電源設定的同步高功率脈沖磁控濺射電源為基體提供偏壓;本發明基於磁控濺射技術巧妙設定了分段式能量提供過程,加上特殊選擇的靶材,克服了高溫才能提供大量能量的技術偏見,實作了透過磁控濺射技術在低溫條件下制備出alpha相三氧化二鋁鉻塗層的技術突破。